北京思凯飞翔科技有限公司代理在IC制造過程中(zhōng)的各種設備，主要工(gōng)藝包括擴散(Thermal Process)、光刻(Photolithography)、刻蝕 (Etch)、離(lí)子注入(Ion Implant)、薄膜生(shēng)長(Dielectric Deposition)、抛光(CMP)、金屬化Metallization)7個主要工(gōng)藝的相關設備。

主要包括：

氧化爐

RTP設備

激光退火(huǒ)設備

塗膠／顯影設備

光刻機

塗膠／顯影設備

等離(lí)子體(tǐ)刻蝕機

濕法刻蝕設備

清洗設備

離(lí)子注入機

CVD設備

PVD設備

RTP設備

ALD設備

清洗設備

CMP設備

刷片機

清洗設備

測量設備

電(diàn)鍍設備