銘志(zhì)晶微代理(lǐ)在IC制造過程中(zhōng)的各種設備，主要工(gōng)藝包括擴散(Thermal Process)、光刻(Photolithography)、刻蝕 (Etch)、離子注入(Ion Implant)、薄膜生長(cháng)(Dielectric Deposition)、抛光(CMP)、金屬化Metallization)7個主要工(gōng)藝的相關設備。

主要包括：

氧化爐

RTP設備

激光退火設備

塗膠／顯影設備

光刻機

塗膠／顯影設備

等離子體(tǐ)刻蝕機

濕法刻蝕設備

清洗設備

離子注入機

CVD設備

PVD設備

RTP設備

ALD設備

清洗設備

CMP設備

刷片機

清洗設備

測量設備

電(diàn)鍍設備